“太好了，易师傅，走走走！”高振东一听就来劲了，光刻机的核心之一，总算是有点消息了。

跟着易中海往他们车间走，易中海一边走，一边介绍大概情况。

总体来说，这个工件台是纯手搓的，特别是微动部分，如果说宏动（粗调）部分的多数零件是他们的徒弟批量做的话，那微动（微调）部分就是他们自己一点一点，量一次修一点、修一点量一次这么搞的了。

不过对于光刻机这种产量的设备来说，其实只要设计和机构确定了，手搓也不是不能接受。

而且这东西粗糙，实际上能用挺久。

有个很冷门的事实是，1~10μm的光刻机其实现在依然在被大量使用，只是有的还在IC制造业，有的可能干别的去了，比如PCB制造。

高振东搞光刻机，可不止为了集成电路一个目标，做光刻PCB，双面板就行，结合自己以前给运算所的波峰焊，多的不要求，把电子产品的自动化制造往上也顺手弄弄。

易中海他们的车间也在三分厂里面，几步路就到了。三分厂的工作就是这样，不论你原来是哪个分厂哪个车间，一旦接了三分厂的工作，原则上都是要到三分厂来完成的，除非设备实在搬不动。

见高振东进来，一群老师傅小徒弟都看向他，也包括易中海的徒弟，秦怀茹。

这个工件台，没有采用高振东前世看到的那些工件台的技术，像什么气浮电机、激光干涉等等技术，一律没有。

一是没那技术，二是没必要用那技术。

那些东西是为了nm级别的精度准备的，对于现在这个高振东只要求5μm的来说，差着几千倍呢。

工件台总体看起来个头不算小，不是下面一个带导轨的架子上面一个台子那么简单，顶部是工件台系统，中间是隔振系统，底部才是基座，不过后两者严格说来不是工件台的一部分，是光刻机的一部分了。

“介绍介绍吧，易师傅。”

这里面，八级钳工易中海无疑是领头的那个，反而没有专业的机械设计人员，主要是厂里没有，所以这个东西，全靠这帮大小师傅的经验来完成了。

高振东点了名，易中海就指着机器，一点一点的介绍起来，用语平实，有不少他们钳工车工等工种的行内话，高振东还得问一问是什么意思才能完全理解，颇有一点前世看互联网黑话的感觉。

师傅们对高振东毫不遮掩自己在这方面的短处，大大方方问问题的作风，也是心中认可，对味儿！一个个的都热情解答。

经过一番沟通，高振东大概明白了这个工件台的基本路线和原理，高振东要求的精度，没超出各位大师傅的能力范围，也没玩别的花活儿或者高科技，差不多就是用机床减速机构实现的精确运动控制。

减速机构说起来是减速，根子上就是按照一定比例改变运动状态，其实可以用于不同的用途，力矩缩放、尺寸缩放、运动状态缩放等等，都行。

宏动用的齿轮，微动用了丝杠，三轧厂的大师傅们通过精心的设计，让齿轮组、丝杠等等巧妙配合，实现了对工件台的运动的精确定位。