李建昆不知何时来到他身边。
周主任长叹口气,只能下放行令。
……
李建昆走向演讲台时,陈春仙带着其他人,开始拆“帐篷”,里面的设备仪器也跃然于眼前。
台下不少人从座位上起身眺望。
他是今天的演讲人。
老陈带领技术团队现场搞实验,他来讲解这项技术。
手上有份老陈写的实验报告。
他准备拿这玩意儿当演讲指导稿。
口才他不缺,英语也算流利,专业技术只能说略懂皮毛,没这份实验报告,有些光刻机领域的专有名词,他甚至都不知道……
一番不走心的客套之后。
李建昆直入正题。
“关于193nmArF激光光源,怎么延伸、甚至是突破65nm的技术节点这个问题,我认为,当前的光学专家们,都走进了一条死胡同……”
嚯!
此言一出,底下顿时杂音四起。
这句话相当于否定了,全世界的光学专家的业务能力。
“好嘛,地球上的光学专家全是鼠目寸光,唯有他视野清晰、超前。”
“这人不是光学专家吧?”
“他怎么敢说这样的话?”
“论如何拉仇恨,我只服他。”
“哈恩教授,您不说两句?”
哈恩,正是之前在第四代光刻机鉴赏会上,比较活跃的那位光学专家。
“没事,我想先听他说完,坦率讲,我目前还是很敬重他的,上回他能说出157nm深紫光源,利用在光刻机研究上,后续将无法解决透镜的问题,证明他在光源领域的造诣颇深,至少这是个我没发现的问题。但他如果后面的话说得不对,我会骂他的。”
“哈恩教授骂起人来应该很凶吧。”
“这么跟你说吧,我有过六段婚姻。”
<div class="contentadv"> “……佩服。”
和哈恩搭话的,是一个小日子,他知道现场没有比哈恩更专业的光学专家,接下来的当场发难,哈恩必须参与进来。
“不信?”
李建昆扫视台下众人,似笑非笑说:“那么我想请问,有没有光学专家……各位所在国家的光学专家,各位所在机构的光学专家,设想过把193nmArF激光光源,扔到非常规的环境中,比如……”
“你不要自作聪明了,谁没有尝试过在特殊环境下做光学实验?”阿麦斯的沃茨冷笑道。
“直肠子”哈恩插话进来:“当然有,我试验过把193nmArF激光光源,投入到真空、稀薄空气、纯净或混杂的各种气体元素之中,但无一例外,它还是无法延伸到65nm。”
“水中呢?”李建昆望向哈恩问。
“这……还真没有。”哈恩挠挠头。
“为什么不呢?”李建昆又问。“您不会不懂水的折射现象。”
哈恩盯着他说:“正常人谁会给一台机器‘上’水啊。不过,在做其他领域的光学研究中,我没少做水中实验,激光在水中的表现,并不如人意……那个,您懂我意思吧,通常无法达到我们想要的效果。”
“可是您没有做过193nmArF激光光源,在水中的实验,或许它与众不同呢?”
李建昆顿了顿,道:“当然,实验并不止这么简单,不光要有水,还要包括透镜在内的许多硬件上的支持。如果没有掌握第四代光刻机的技术,我们也无法完成这个实验。
“大家请看。”
他侧过身,抬手,向侧后方的舞台中央示意。
那儿,陈春仙带领团队,已经开始进行实验,某些机器发出不大不小的噪音。
“您的意思是说,193nmArF激光光源,在水中可以延伸到65nm?”哈恩迫不及待问。
李建昆扭回头,向他看去:“不止是延伸‘到’,193nmArF激光光源,在水中完全可以突破65nm的技术节点,甚至是将光刻机的工艺水平,推进到50nm、40nm、30nm、20nm……”
嚯!
礼堂里哗然一片。
但凡对光刻机略懂皮毛的人,也能明白这番话代表着什么含义。
“各位所想没错。”